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英特尔和特许半导体没有选择，台积电和三星还没有意识到或者暂时认为没必要，这也就给了特许机会。在周石放宽要求之后，特许半导体入股阿斯麦的事情基本搞定。特许半导体以十点三五亿美元获得阿斯麦百分之5的股份并且投入三点四亿美元帮助阿斯麦开发新技术。投资金额将以发展450mm机台以及EUV研发制造10nm技术为两大主轴。